Un fabricante de equipos de semiconductores convencional en China utiliza el 99%varillas cerámicas de alúmina de alta purezaComo componentes de soporte de precisión fundamentales de la cavidad del equipo, sustituyen la estructura de soporte original de acero inoxidable, logrando una doble mejora del rendimiento y la eficiencia operativa del equipo.
Alta precisión personalizadavarilla cerámica de alúminaCon una superficie lisa y plana, que combina las características esenciales de alta rigidez, bajo coeficiente de expansión térmica, resistencia a la corrosión por plasma, alto aislamiento y baja precipitación de polvo, se adapta perfectamente a las exigentes condiciones de trabajo de los equipos de grabado, que requieren limpieza, alta precisión y funcionamiento continuo. Esta varilla cerámica se utiliza principalmente para fijar los componentes de detección óptica y las estructuras de delimitación de obleas dentro del equipo, y desempeña un papel fundamental en el soporte preciso, la calibración del posicionamiento, el aislamiento y la protección, garantizando la estabilidad estructural del equipo durante el funcionamiento alternativo a alta velocidad.
